Å×½º, »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀû¡¦ÀüÅë ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ÀçÆò°¡ ±â´ë -DB
DB±ÝÀ¶ÅõÀÚ´Â 27ÀÏ Å×½º(095610)¿¡ ´ëÇØ ¸Þ¸ð¸® °¡°Ý Ç϶ô ¹ÝÀü¿¡ µû¸¥ ³»³âµµ »ï¼ºÀüÀÚ ½Å±ÔÅõÀÚ Ãà¼Ò ¿ì·Á·Î ÁÖ°¡°¡ ÁöÁöºÎÁøÇÏÁö¸¸ ½ÇÀûÀº ÃÖ´ëÄ¡¸¦ °æ½Å ÁßÀ¸·Î ³»³â ÃÊ ÀúÆò°¡µÈ ÀüÅëÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ÀçÆò°¡°¡ ±â´ëµÈ´Ù¸ç ÅõÀÚÀÇ°ß ¡®¸Å¼ö¡¯¿Í ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 4¸¸¿øÀ» À¯ÁöÇß´Ù.
DB±ÝÀ¶ÅõÀÚ´Â Å×½ºÀÇ ¿ÃÇØ 4ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ °¢°¢ Àü³â µ¿±â ´ëºñ 2.7%, 432% Áõ°¡ÇÑ 560¾ï¿ø, 55¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù. ÀÌ´Â ½ÃÀå Àü¸ÁÄ¡¿¡ ºÎÇÕÇÏ´Â ¼öÁØÀÌ´Ù.
¾î±ÔÁø DB±ÝÀ¶ÅõÀÚ ¿¬±¸¿øÀº ¡°¿ÃÇØ ÇϹݱ⠱¹³» Àåºñ ÅõÀÚÀÇ ÀϽÃÀûÀÎ °ø¹é±â·Î ½Å±Ô ¼öÁÖ°¡ Á¦ÇÑÀûÀÎ °¡¿îµ¥ ¿¬¸» SKÇÏÀ̴нºÀÇ M15¡¤M16 ½Å±ÔÅõÀÚ¿Í ÀϺΠ»ï¼ºÀüÀÚ À¯Áöº¸¼ö ÅõÀÚ°¡ ¹ß»ýÇß´Ù¡±¸ç ¡°SKÇÏÀ̴нºÇâ ½Å±Ô Àåºñ ÀÔ°í°¡ ½ÃÀ۵Ǵ ³»³â 1ºÐ±â ÀÌÈÄ ½ÇÀû ¼ºÀåÀÌ º»°Ý鵃 °Í¡±À̶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.
³»³â ¿¬°£ ½ÇÀûÀº ¿ÃÇØ¿¡ ÀÌ¾î »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀûÀ» °æ½ÅÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù. DB±ÝÀ¶ÅõÀÚ´Â µ¿»çÀÇ ¿ÃÇØ ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ» °¢°¢ Àü³â µ¿±â ´ëºñ 50.1%, 112% Áõ°¡ÇÑ 3691¾ï¿ø, 672¾ï¿øÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù. ³»³â ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº °¢°¢ 2.1%, 7.5% Áõ°¡ÇÑ 3770¾ï¿ø, 722¾ï¿øÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù.
¾î ¿¬±¸¿øÀº ¡°³»³â ½ÇÀûÀº »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ½Å±Ô ¸Þ¸ð¸® ÅõÀÚÀÇ ÀϺΠÁö¿¬À» °¡Á¤ÇÏ°íµµ SKÇÏÀ̴нºÀÇ M16 ½Å±Ô ÅõÀÚ È®´ë, ¿¡Äª°¡½º(Gas Etch) ÀåºñÀÇ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ ÁøÃâ°ú ±âÁ¸ PECVD(ÈÇбâ»óÁõÂø)ÀåºñÀÇ ½Å±Ô ¸·Áú ÁøÀÔ µîÀÇ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÈ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÌ¾î ¡°±â´ëº¸´Ù ºü¸¥ ¸Þ¸ð¸® ¾÷Ȳ ¹ÝµîÀÌ ÁøÇàµÈ´Ù¸é »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃ3 ÅõÀÚ °¡¼ÓÈ·Î ³»³â ÇϹݱâ Ãß°¡ÀûÀÎ ½ÇÀû »óÇâ °¡´É¼ºµµ Á¸ÀçÇÑ´Ù¡±°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
À̵¥Àϸ®